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PFA過濾延展網(wǎng)在半導(dǎo)體硅片制備過程中的作用

發(fā)布日期:2021-04-06 作者:大連義邦科技 瀏覽數(shù):10903
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半導(dǎo)體微電子技術(shù)已帶領(lǐng)人類走進(jìn)航空、航天、工業(yè)、農(nóng)業(yè)和國防,也正在悄悄進(jìn)入每一個家庭。目前已在米粒大的硅片上集成上16萬個晶體管,小小的硅片蘊(yùn)含巨大"魔力"。
硅片是制作晶體管和集成電路的重要材料,通過對硅片進(jìn)行光刻、離子注入等手段,可以制成各種半導(dǎo)體器件。用硅片制成的芯片有著驚人的運(yùn)算能力。
隨著集成電路集成程度的提高,對硅片的尺寸及加工精度要求越來越高,進(jìn)而對硅片加工系統(tǒng)的要求也越來越高,因此必須對以往的加工設(shè)備加以更新和改進(jìn)才能滿足要求。
其中以太陽能電池片的生產(chǎn)工藝流程為例需要高精密和精準(zhǔn)的流程和過濾,分為硅片檢測——表面制絨——擴(kuò)散制結(jié)——去磷硅玻璃——等離子刻蝕——鍍減反射膜——絲網(wǎng)印刷——快速燒結(jié)等。
硅片是太陽能電池片的載體,硅片質(zhì)量的直接決定了太陽能電池片轉(zhuǎn)換效率,因此有必要對來料硅片進(jìn)行檢測。其中在表面制絨過程,單晶硅絨面的制備是利用硅的各向異性腐蝕,在每平方厘米硅表面形成幾百萬個四面方錐體也即金字塔結(jié)構(gòu)。由于入射光在表面的多次反射和折射,增加了光的吸收,提高了電池的短路電流和轉(zhuǎn)換效率。硅的各向異性腐蝕液通常用熱的堿性溶液,可用的堿有氫氧化鈉,氫氧化鉀、氫氧化鋰和乙二胺等。
制備絨面前,硅片須先進(jìn)行初步表面腐蝕,用堿性或酸性腐蝕液蝕去約20~25μm,在腐蝕絨面后,進(jìn)行一般的化學(xué)清洗。經(jīng)過表面準(zhǔn)備的硅片都不宜在水中久存,以防沾污,應(yīng)盡快擴(kuò)散制結(jié)。
隨之而來的,電子半導(dǎo)體行業(yè)需過濾鹽酸、硝酸、雙氧水以及其他一些有超高純、防腐蝕要求的化學(xué)品流體,過濾材質(zhì)通常為高純PFA材料。
為了提高過濾器的精度,過濾產(chǎn)品需滿足更小的孔徑,僅用增加濾材密度的方式反而會降低流速,這樣過濾性能就會受到影響且提高過濾成本,越來越多高精密強(qiáng)腐蝕的全氟折疊濾芯應(yīng)用于這些高純流體,強(qiáng)腐蝕環(huán)境的精細(xì)化工過濾。大連義邦PFA氟聚合物延展網(wǎng)可作為濾膜介質(zhì)支撐,解決濾膜在強(qiáng)力和高壓下的耐受力,延展網(wǎng)孔孔距不會受壓力變化而變距,在半導(dǎo)體和高純硅片的制備和生產(chǎn)中得到更廣泛的應(yīng)用,如半導(dǎo)體芯片、太陽能、液晶面板等行業(yè),或者一些其他超高純流體要求的行業(yè),需承受高密度,高壓、高流速的設(shè)計(jì)需求。
半導(dǎo)體器件生產(chǎn)中硅片須經(jīng)嚴(yán)格清洗。微量污染也會導(dǎo)致器件失效。清洗的目的在于清除表面污染雜質(zhì),包括有機(jī)物和無機(jī)物。這些雜質(zhì)有的以原子狀態(tài)或離子狀態(tài),有的以薄膜形式或顆粒形式存在于硅片表面,所以半導(dǎo)體微電子硅片制備離不開全氟過濾PFA材料。
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