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砂輪又稱固結磨具，砂輪是由結合劑將普通磨料固結成一定形狀(多數為圓形，中央有通孔），并具有一定強度的固結磨具。其一般由磨料、結合劑和氣孔構成，這三部分常稱為固結磨具的三要素。

砂輪是磨具中用量最大、使用面最廣的一種，使用時高速旋轉，可對金屬或非金屬工件的外圓、內圓、平面和各種型面等進行粗磨、半精磨和精磨以及開槽和切斷等。樹脂砂輪廣泛應用于工業生產活動中，以切割或磨削金屬材料或精密部件。

隨著光電子器件行業和微電子技術的快速發展，對SiC、GaAs、單晶藍寶石等硬脆晶體基片的加工要求越來越苛刻，這些晶體基片硬度高、脆性大、各向異性和化學穩定性好，不僅要求極高的加工精度、加工效率和較低的加工成本。

還要求很高的表面質量，晶片表面粗糙度達到亞納米級。無論是表面還是亞表面均沒有微裂紋、瑕點、層錯、位錯和畸變層等缺陷和損傷。目前晶體基片的加工工藝問題，主要是表面質量差和加工成本高。

以往多孔樹脂砂輪，多是把水溶性粒子，或者中空材料混入流動的料漿內，形成“占位”情況，產生氣孔。水溶性粒子法，主要是通過將可形成孔的水溶性粒子加入到磨料層中“占位”。中空材料法，則是通過添加中空的類球形的閉孔材料到砂輪中制造多孔結構。

這兩種采用“占位”的方法，制造多氣孔砂輪會受固體物量的上限制約，導致樹脂砂輪的氣孔率上限受到限制。同時樹脂液粘度大，造成成型料的混合均勻難度大，這在一定程度上導致樹脂砂輪的氣孔分布不均勻。

空心陶瓷微珠作為樹脂填料，它是一種由二氧化硅和三氧化鋁組成的陶瓷材質空心球，是制備高氣孔率樹脂砂輪的有效方法。

E-SPHERES?空心陶瓷微珠，已在歐洲有20多年的銷售經驗，并且涉及行業應用廣泛。它是一種尺寸微小的空心陶瓷球體，屬無機非金屬材料。典型粒徑范圍20-500μm，堆積密度0.3-0.4克/毫升，壓縮強度33Mpa、不吸水、吸油量約7g/100g、同時耐堿耐酸性極強。具有質輕、抗壓縮、耐高溫、低導熱、隔音、高分散、電絕緣性和熱穩定性好等優點，是近幾年來發展起來的一種用途廣泛、性能優異的新型樹脂填料材料。

同時，由于采用該材料，可降低砂輪整體厚度，因此減少了生產成本。并且在切割工件時，使用較薄的砂輪能夠減少因切割而產生的損耗，能夠節省工件的成本。

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